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元々プロセスには「フルノード」と呼ばれる45nm/32nm/22nm/16nmというものと、ハーフノードと呼ばれる40nm/28nm/20nm/14nmの2種類がある,フェリージ バッグ。本来は両方の系列が交互に提供されるはずだったが、最近は諸般の理由によりハーフノードのみを提供する方向になっているこの問題の主要因は露光装置の問題である,,フェリージ トート。既存の「193nm ArF」(フッ化アルゴン)という光源を使う場合、1層分の露光を23回行なわないと、14nm世代での製造が不可能なのだが、これでは露光に必要なマスクのコスト高騰につながるという話だ。
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